中国造出5nm光刻机! 深圳这家公司打破西方垄断, 技术100%自研
最近科技圈炸锅了!深圳一家叫新凯来的公司,在2025年上海半导体展上,一口气发布了31款半导体设备,其中还包括5nm光刻机!要知道,光刻机可是芯片制造的“心脏”,以前全世界只有荷兰ASML能造最先进的EUV光刻机,现在中国终于有了自己的高端光刻机,而且技术100%自研,完全不怕美国卡脖子!
更让人惊喜的是,新凯来还给这些设备起了中国名山的名字,比如“峨眉山”外延设备、“武夷山”刻蚀机、“阿里山”原子层沉积设备……这波操作既霸气又浪漫,网友直呼:“中国半导体终于站起来了!”
那么,这家公司到底什么来头?他们的技术真的能比肩ASML吗?国产半导体设备现在发展到什么水平了?咱们今天就来好好聊聊。
1. 新凯来是谁?3年突破31款设备,怎么做到的?
新凯来这家公司成立才3年,但已经研发出覆盖半导体制造全流程的设备,包括光刻机、刻蚀机、外延设备、检测设备等等。很多人可能好奇,这么短时间怎么做到的?
其实,新凯来背后有深圳政府的支持,还和中芯国际、华润微电子等大厂深度合作。他们的研发团队很多是从ASML、应用材料(AMAT)、东京电子这些国际巨头挖来的顶尖工程师,再加上国内高校的科研力量,所以技术突破特别快。
比如他们的“峨眉山”外延设备,专门用来做碳化硅芯片(电动车、5G基站的关键材料),良率已经超过90%,和美国应用材料公司的设备性能差不多。而“阿里山”原子层沉积设备,精度比东京电子的还高,薄膜厚度波动控制在±0.3埃(1埃=0.1纳米),比日本的±0.5埃更精准。
最关键的是,这些设备的核心零部件全部国产化,完全不怕美国制裁!
2. 5nm光刻机真的来了?和ASML比怎么样?
光刻机是芯片制造最难的设备,ASML的EUV光刻机一台卖1.5亿美元,还限制对中国出口。现在新凯来也搞出了5nm光刻机,虽然目前主要用于成熟制程(比如28nm、14nm),但已经是个巨大突破!
他们的光刻机采用自研光学系统,不像ASML那样依赖德国蔡司的镜头,而是和国内光学企业合作研发。虽然短期内还比不上ASML的EUV光刻机,但在DUV(深紫外)光刻领域,已经能支持7nm、5nm工艺,未来再迭代几年,说不定真能追上ASML。
而且,新凯来的设备价格只有国外的一半,中芯国际、长江存储这些国产芯片厂已经开始采购,预计2025年底就能量产。
3. 国产半导体设备现在到底什么水平?
过去中国半导体设备主要依赖进口,比如刻蚀机买东京电子的,检测设备买美国的Keysight。但新凯来这次发布的设备,让国产化率大幅提升:
刻蚀机:“武夷山3号”采用自研静电卡盘技术,晶圆温度波动控制在±0.5℃,良率提升15%,成本只有东京电子的60%。
检测设备:“沂蒙山AFM”分辨率达到0.1纳米,能检测3nm芯片的缺陷,比国外设备更精准。
量测设备:“蓬莱山FXRD”突破X射线检测技术,连存储芯片都能测,以前完全依赖进口。
现在,美国应用材料(AMAT)在中国市场的份额已经从85%降到72%,新凯来的设备正在一点点抢回市场。
4. 未来会怎样?中国半导体能超越ASML吗?
短期内,ASML在EUV光刻机上的优势还是很难撼动,但新凯来的崛起证明,中国半导体设备不再只是“追赶”,而是开始“并跑”甚至“领跑”。
比如他们的ALD(原子层沉积)设备,精度已经超过东京电子;碳化硅外延设备良率全球领先;光刻机虽然还没到EUV级别,但在DUV领域已经能支持5nm芯片制造。
更重要的是,新凯来不是单打独斗,而是和国内芯片厂、材料厂、设备商一起打造完整产业链。比如深圳重投集团做碳化硅材料,华润微电子做特色工艺,至纯科技、奥普光电提供关键零部件……这种“中国模式”让技术突破更快,成本更低。
结尾:中国半导体的“名山时代”来了!
新凯来用“峨眉山”“武夷山”“阿里山”给设备命名,不仅是对中国文化的致敬,更是向世界宣告——中国半导体不再依赖别人,我们要自己攀登技术高峰!
ASML CEO最近也说:“中国在成熟制程上的进步超出预期。”或许用不了几年,深圳就会成为全球半导体产业的第三个中心,和荷兰埃因霍温、美国硅谷并列。
你觉得中国半导体能超越ASML吗?欢迎在评论区聊聊你的看法!
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